20 W横向流动X光预电离XeCl准分子激光器

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利用KrF激光泵浦高压H_2,产生受激喇曼散射(SBS),得到时间宽被压缩的Stokes光和Anti-Stokes光,一阶Stokes光的发散角被压缩到泵浦光的1/3。研究了缓冲气体对Stokes光转

加拿大安大略州Lumonics公司的准分子激光器正用于标刻系统。该系统是这家公司的激光标刻机产品系列中新的改进型。激光标刻机的工作原理是:让一束激光通过一块模板,把模板的象聚焦在待标刻的物件上。聚焦光

罗瑟福·阿普耳顿实验室的R. A.劳斯在去年10月1日到3日于英国伯明翰召开的85年国际半导体会议的一份报告中说:光刻设备利用准分子激光,可望提供X射线光刻的大部分优势,而避免其许多缺点。

以准分子激光生产微型芯片

用准分子激光进行微加工

七十年代中期,准分子激光以新体系、新波长为主要研究目标,使它成为新型气体激光器的一个重要分支。近年来,准分子激光的发展在于大功率、高重复率、改变脉冲时间等方面,与此同时,继续发展新的泵浦技术和新的体系

本文采用二维CCD列阵检测准分子激光的光束特性。研究了长时间运转下,光束的均匀性和光束重心的漂移。并讨论了它们与放电稳定性之间的关系。

研究了XeCl准分子激光在铅蒸气中的喇曼散射的输出能量及转换效率的参数依赖关系,得到能量~120mJ、峰值功率~2MW的喇曼光输出脉冲.观察到喇曼光脉冲波形上的多峰结构,并将其归因于喇曼散射中的合作效

报导X射线预电离KrF激光器的输出特性。闪发X射线发生器在本研究中用来在激光气体中产生1.5×10