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加拿大安大略州Lumonics公司的准分子激光器正用于标刻系统。该系统是这家公司的激光标刻机产品系列中新的改进型。激光标刻机的工作原理是:让一束激光通过一块模板,把模板的象聚焦在待标刻的物件上。聚焦光
在XeCl准分子激光引发Fe(CO)5光催化已烯-1异构化反应中,其主要反应产物为反式-已烯-2,并有少量的顺式-己烯-2.本文研究了产物得率与Fe(CO)5浓度的依赖关系.实验表明存在着非线性光化学
以准分子激光生产微型芯片
用准分子激光进行微加工
罗瑟福·阿普耳顿实验室的R. A.劳斯在去年10月1日到3日于英国伯明翰召开的85年国际半导体会议的一份报告中说:光刻设备利用准分子激光,可望提供X射线光刻的大部分优势,而避免其许多缺点。
提出了一种模拟准分子激光光能量分布的方法。通过使用Matlab软件分析实际拍摄到的准分子激光光能量分布彩色图像并提取相关信息进行计算,使用光学软件Zemax模拟出实际的准分子激光的光能量分布。实际准分
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建立了一套6束百焦耳23 ns角多路KrF准分子激光ΜΟΡΑ系统,靶上能量达到120 J,靶上功率密度可以 达到10^{13} W/cm2。目前正在进行离子飞行时间测量、等离子体温度测量等靶物理研究。
对强流相对论电子束抽运氩产生的氩的第三谱带进行了研究。利用反射镜法对其小信号增益系数进行了测量。根据测量的实验装置和方法,建立了近距离探测的精确数学模型。综合运用数值分析方法对该模型进行了求解,得到了
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