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ZrO2薄膜样品在不同的沉积温度下用电子束蒸发的方法沉积而成。利用X射线衍射(XRD)仪和原子力显微镜(AFM)检测了ZrO2薄膜的晶体结构和表面形貌,发现室温下沉积ZrO2薄膜样品为非晶结构,随着沉
600千电子伏电子的3毫微秒脉冲已用来电离CO2-N1-He介质,获得了持续时间达120微秒的激光脉沖。电子束几乎与激光器轴共轴,与维持场垂直。从75厘米长器件中荻得了11.5焦耳的能量。
利用激光等离子体软X射线激励,观察到了一种新型离子准分子──KrF离子准分子的真空紫外连续谱,其辐射中心波长位于148 nm附近。并在实验和理论上对其动力学过程进行分析。
在各种不同用途的电子束仪器(电视显像管、示波管、字符图象显示器)中广泛使用半导体化合物在加速电子作用下发光。为此一般采用掺杂半导体(荧光粉),它的辐射由电子通过激活剂杂质形成的能级的跃迁产生。在电子束
介绍了一种两级复眼式均束器的设计。它不仅均匀效果好,传输效率高,输出光束截面尺寸连续可调,而且为掩模投影式准分子激光微加工系统提供了恰当的照明数值孔径,是准分子激光进行微机械、微光学、微电子等微细加工
高压H2/F2脉冲化学激光器要求脉宽≤1 μs,在240~340 nm波段的强紫外光源 作光引发。这样脉宽的脉冲气体放电灯,其 效率为1%~2%,所以用XeCl、XeF、KrF等准分子激光器泵浦化学激
收稿日期:1981-12-08
本文报告一种高强度、低溅散的新型激光石墨。介绍一种提高氩离子激光器分段石墨片处理温度的合理工艺。实验表明,碳黑激光石墨能大幅度延长氩离子激光器的寿命。
在高功率准分子激光系统中,由于介质的高增益和非存储特性,自发辐射放大(ASE)成为影响系统输出对比度的关键因素。在角多路主振荡功率放大器(MOPA)激光放大链中,为抑制ASE,采用了电光开关和增益控制
田丰,韩立,杨忠山(中国科学院电工研究所,北京 100080)摘要:化学放大胶(Chemically Amplified Resists,简称CARs)是下一代光刻技术中极具发展潜力的一种光学记录介质
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