田丰,韩立,杨忠山(中国科学院电工研究所,北京 100080)摘要:化学放大胶(Chemically Amplified Resists,简称CARs)是下一代光刻技术中极具发展潜力的一种光学记录介质。介绍了化学放大胶在电子束光刻技术中图形制作工艺的关键步骤以及目前常用的几种化学放大胶,分析了将化学放大胶用于电子束曝光工艺应注意的问题和它将来的发展趋势。 关键词:化学放大胶;电子束光刻;抗蚀剂中图分类号:TN305.7 文章编号:1671-4776(2003)12-0043-041引言微电子产业的飞速发展要求半导体器件的特征尺寸越来越小,器件特征尺寸的减小一方面依赖于曝光工具,另一方面也与抗蚀