一种基于双材料悬臂梁的太赫兹焦平面阵列

提出了一种实时太赫兹(THz)主动成像系统。系统的关键元件是一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的双悬臂梁焦平面阵列(FPA)。由于THz能量小,为了提高器件探测的灵敏度,针对THz波段对器件提出了使用基于表面等离子体共振原理的光读出方案;对微梁结构做了设计,使微梁可以沿垂直方向移动。对设计的结构进行了有限元分析,表明该方案是一种探测精度很高的解决方案。