加载载荷对BCN薄膜纳米摩擦行为的影响

ProEthan 18 0 PDF 2020-07-17 16:07:14

加载载荷对BCN薄膜纳米摩擦行为的影响,徐淑艳,王立海,本文针对直流磁控溅射制备的硼碳氮(BCN)薄膜,采用纳米压入仪横向力测量法研究了不同加载载荷对BCN薄膜的纳米摩擦行为的影响,分析�

加载载荷对BCN薄膜纳米摩擦行为的影响

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