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16 nm极紫外光刻(EUVL)物镜热变形是影响其高分辨成像的主要因素之一。为了给EUVL系统热管理提供可靠的技术依据, 对数值孔径为0.33且满足16 nm技术节点的典型EUVL物镜进行热变形仿真研
提出了一种能够在大面积上增强超深亚波长光刻的表面等离子体共振腔。 空腔由两层金属膜组成:一层被刻蚀有周期性的凹槽,以激发金属/电介质界面上的表面等离子体共振。 下面的另一个被光致抗蚀剂层隔开。 数值模
我们演示了用氢负载编写的热再生光纤布拉格光栅的制造193 nm准分子激光器的单模光纤。 发现再生光栅具有高达900°C的更高可持续温度。 实验比较了三种光敏光纤中写入的光栅的特性。
光刻工艺是用于在晶圆表面上和内部产生需要的图形和尺寸。将数字化图形转到晶圆上需要一些加工步骤。在光刻制程中,准备光刻母版(reticle)是其中一个步骤。光刻母版是在玻璃或石英板的镀薄膜铬层上生成分层
为下一代光刻研究的菲涅耳光学件
投影光刻机普遍采用衍射光学元件(DOE)来产生各种照明模式。针对投影光刻机中准分子激光器空间相干性差的特点,提出了一种混合分区设计方法,并利用该方法对产生传统照明模式、二极照明模式和四极照明模式的DO
The studies of ablation of skin by 193nm excimer laser were performed on an animal model. The paper
研究和比较双波长低能量激光疗法(LLLT)对人皮肤成纤维细胞(CCC-ESF)的生长、酶活性以及生长因子等的影响,讨论弱激光促进伤口愈合的作用机理.体外培养CCC-ESF,实验分为对照组和照光组(63
端面泵浦高功率连续输出946nm和1064nm双波长运转Nd:YAG激光器,路洋,张百钢,本文报道了LD泵浦的高效连续运转946nm和1064nm双波长Nd:YAG激光器。就我们所知,本文在理论上第一
