通过对准分子激光光束特性进行研究,并根据准分子激光微加工的需要,设计了一套实用的准分子激光微加工光路。
报道了248 nm 准分子激光微透镜整形均束装置的研制结果。实际采集并拍摄了248 nm 准分子激光光能量分布的彩色图像,使用Matlab分析处理该图像并提取了相关信息进行计算,通过光学软件ZEMAX
介绍了准分子激光刻蚀单晶硅的流程和表征, 很有用的
实验研究了X射线预电离XeCl准分子激光器在氢气中的受激喇曼散射。用光电管观察到S1、S2和S3斯托克斯线输出。对受激喇曼散射导致光束发散角减小和脉宽变窄进行了理论分析。
本文叙述用准分子激光束将原始文字转移到感光性树脂板上的直接凸版印刷工艺。光敏塑料树脂板经300~400亳微米紫外线曝光。光源可用能长时间曝光的高压汞蒸汽灯。若采用产生高强度紫外光束(350亳微米)的氟
描述了获得准分子激光超短脉冲的一种方法。理论上扼要地介绍了淬灭式染料激光器产生超短脉冲激光的机理。实验上以香豆素498染料得到波长为496 nm,脉宽1 ns,能量1.1 mJ的染料激光。
利用严格耦合波理论分析了线性啁啾相位掩模的衍射特性,得到只有当相位掩模的占宽比在0.37~0.50之间,槽形深度在242~270 nm之间时,才能保证零级衍射效率小于2%,同时正负一级的衍射效率大于3
利用XeCl(308 nm)脉冲准分子激光淀积技术在功率密度5×108 W/cm2、室温、真空度10-3Pa的条件下,制备出不含氢成分的类金刚石薄膜,研究了类金刚石薄膜的特性及其随制备工艺条件的变化规
介绍利用受激布里渊散射 (SBS)相位共轭技术改善固体激光和准分子激光光束质量研究的进展 ,特别介绍近几年来在 SBS介质、压缩脉宽和高能量高功率激光系统研究方面取得的一些新成果 ,并指出其未来发展方
针对准分子激光器的相关应用,对准分子激光进行光谱控制是非常必要的。相关光谱控制主要包括激光线宽窄化及激光中心波长的稳定输出,常用的线宽压窄方式是利用扩束棱镜组结合光栅构成线宽压窄模块达到激光线宽窄化的