基于灵敏度控制的光学薄膜膜系主动设计方法

基于斜入射薄膜制备实践中镀膜误差对光谱性能的严重退化影响的认识,提出了一种基于灵敏度控制的主动膜系设计方法,深入分析了镀膜中膜层结构参数误差的分布规律,建立了膜系灵敏度的定量计算模型,并在大角度高精度消偏振增透膜的设计实验中验证了灵敏度控制思想在膜系设计中的可行性和有效性。结果表明,这一设计方法不会显著增加程序时间消耗,能获得具有良好可镀制性能的薄膜,可以避免昂贵的失败试镀和采样,缩短新薄膜的生产周期,对于高精度斜入射薄膜的重复性制备具有显著意义。