基质温度对Li W共掺杂ZnO薄膜掺杂特性的影响

采用射频磁控溅射技术,在石英玻璃基板上沉积Li-W共掺杂ZnO(LWZO)薄膜。 研究了在不同衬底温度下沉积的LWZO薄膜的特性。 基板温度低于120°C时C-根据X射线衍射(XRD)模式,薄膜以(002)面为首选取向的六角形纤锌矿结构保持不变-透光率高于85%。 当基材温度高于120°C时C,XPS和XRD的结果表明,W6þ将作为供体起作用,并出现(101)峰; 扫描电子显微镜(SEM)及其二维傅里叶变换图像表明,当基底温度低于120°C时,薄膜具有光滑的表面和柱状颗粒结构。 基板温度高于120°C时,薄膜表面变得较粗糙,可以观察到呈尖锐的颗粒状结构。 另外,样品的最低电阻率为3:6Ω。 10分3分? 在基板温度240°C下获得的cm。 C。