金属辅助化学刻蚀法制备硅纳米线

weixin_77908 23 0 PDF 2020-07-19 10:07:45

金属辅助化学刻蚀法制备硅纳米线,王艳周,岳红伟,本文采用金属辅助化学刻蚀法(HF/AgNO3溶液),在单晶硅表面制备了硅纳米线阵列,深入探讨了金属辅助化学刻蚀的机理并研究了单晶硅表

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