化学修饰溶胶-凝胶法制备薄膜微细图形研究,方俊,王秀峰, 本文介绍了一种薄膜微细图形制备方法-化学修饰溶胶-凝胶法,该方法设备简单,成本低廉,微细图形制备精度高。解释了它的薄膜微