微波等离子体化学气相沉积法制备图形化碳纳米管阵列,赵约瑟,曾葆青,应用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)在含有图案化的Ni催化剂薄膜上选择性的沉积了定向有序碳纳米管阵列。甲烷(CH4)和氢气(H2