氩离子辐照对ZrO2-Y2O3薄膜的结构影响

为了研究离子辐照对薄膜结构的影响，对氩离子辐照磁控溅射沉积的 ZrO2-8%（m/m）Y2O3 薄膜进行了分析。通过 XRD、AES及XPS等微观分析技术，结果显示，经离子辐照后，原本无定形的薄膜发生了晶化现象；膜内元素与基体元素的混合显著增强；此外，表面污染的碳原子向膜内迁移。研究还涵盖了磁控溅射沉积ZrO2-8%（m/m）Y2O3 薄膜在氩离子辐照前后，表面 Zr(3d)、 Y(3d)和 O(ls)结合能位移情况的分析。