各种外延技术及相关测试方法
PPT章节为（特别详细、耐看、有内容！）： 7.1 硅气相外延的基本原理 7.2 外延层中的杂质分布 7.3 低压外延 7.4 选择外延 7.5 硅烷热分解法外延 7.6 SOS技术 7.7 分子束外延 7.8 层错、图形漂移及利用层错法测量厚度 7.9 外延层厚度和电阻率的测量
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