栅氧预清洗对栅氧可靠性影响及机理研究,刘强,,随着科技的不断进步,器件的尺寸越来越小,栅氧完整性(GOI)问题越来越凸显。本文研究由于栅氧预清洗工艺导致栅氧化层工艺失效问�