目 录 1．概述 （2） 2．设备的标识 （2） 3．设备的安装 （2） 3．1机械安装 （2） 3．1．1安装要求 （2） 3．1．2安装程序及注意事项 （3） 3．2电气安装 （3） 3．2．1安装要求 （3） 3．3．2安装程序及注意事项 （4） 4．关键部件的装调 （5） 4．1 SiC桨及石英炉门的装调 （5） 4．1．1装调步骤 （6） 4．1．2注意事项 （7） 4．2 恒温区的调试方法及验收判据 （9） 5．调试时的安全要求 （10）