SECSGEMHost主机端)完整支持HSMS
支持半导体SEMI SECS SECS-II GEM HSMS的一个程序，采用SEMI E5 ,E30, E37的协议规格编程，FAB与半导体生产设备的通讯SDK VS2010环境下编译，内部不包含环境包 如果无法下载，可以联系我。 使用说明在博客内
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