该课程是根据半导体器件设计、制造、工艺这一流程而设计的实验课程,L-edit是针对版图设计而编制的应用软件,学生通过课程的学习,对半导体器件的设计、制造、工艺等方面有一个全面的了解,实验课程分为三大部分。 (1) 集成电路工艺流程 (2) 测量 (3) 用L-edit软件进行集成电路的设计