结构光平面拟合

本文在简介软X光掠入射平面反射镜基本工作原理及其制备的基础上,着重阐述了镍平面镜的反射率标定过程,给出了标定结果且用于激光-等离子体亚仟X光辐射谱测量,提高了能谱测量精度.

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针对光栅结构光系统测量误差对拟合结果的影响,提出了一种基于测量环境的误差确定方法。统计不同光源环境及测量距离下的高度测量误差,利用参数或非参数拟合获取其概率密度函数,将上述误差连同平面测量误差一起添加

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