根据近年来的实践．介绍r亚微米，深亚微米多层布线结构的VLSI的失效分析的关键技术和加快失效分析程序的方法 包括：先进的芯片剥层技术和局部剖切面技术、以失效分析为目的的电测试技术和故障定位技术及其简化方法。通过一些失效分析实例说明了研究上述关键技术的有效性。