《广东省电子制造装备产业技术路线图》全面、系统地制定了广东省电子制造装备产业技术路线图。结合电子制造工艺和装备的技术发展趋势、产业现状和市场需求分析，深入探讨了广东省电子制造装备的产业目标；在充分调研技术专利的基础上，分析了发展广东省电子制造装备的技术壁垒和研发方向，制定出广东省电子制造装备产业技术路线总图。