太阳电池中的激光开孔刻槽及腐蚀工艺的研究,张为国,张陆成,为了解决激光在制备EWT晶体硅太阳电池的过程中出现损伤较大的问题,采用Q开关Nd:YVO4激光对浅扩散磷并双面钝化的硅片开微孔并刻槽将�