北京大学体硅MEMS工艺 下载 shuai6249 28 0 PDF 2019-05-28 05:05:48 为了使表面牺牲层MEMS设计标准化,利用ICCAD根据进行版图设计规则的自动检查,制定出该设计规则,并在CADENCE中建立了相应的工艺库几DRC检验规则 立即下载 微信扫一扫:分享 微信里点“发现”,扫一下 二维码便可将本文分享至朋友圈。