北京大学体硅MEMS工艺

shuai6249 28 0 PDF 2019-05-28 05:05:48

为了使表面牺牲层MEMS设计标准化,利用ICCAD根据进行版图设计规则的自动检查,制定出该设计规则,并在CADENCE中建立了相应的工艺库几DRC检验规则

用户评论
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Generic placeholder image 卡了网匿名网友 2019-05-28 05:05:48

还不错,需要仔细研究才能明白