测前馈补偿在0_1um光刻机硅片台长行程电机控制中的应用

矿井采用的可控整流型大功率直流提升机是一种典型的冲击性负荷,它的运行给电网带来了大量的无功冲击,致使电网电压波动,严重威胁供电系统的安全运行。因此,对提升机的供电系统进行动态无功补偿是十分必要的,但是

针对多变量预测控制计算量大、控制效果对扰动和模型失配敏感等特点,提出一种适用于预测控制工程应用的控制模型前馈解耦策略.基于结构分析,保留重要的被控变量与操作变量配对关系,将不重要的被控变量与操作变量配

阐述了投影光刻机调焦调平传感器的重要作用及其技术进展,详细介绍了国际上典型的调焦调平传感器,并对多种传感技术的光学原理和关键技术进行了分析和比较。

投影光刻机普遍采用衍射光学元件(DOE)来产生各种照明模式。针对投影光刻机中准分子激光器空间相干性差的特点,提出了一种混合分区设计方法,并利用该方法对产生传统照明模式、二极照明模式和四极照明模式的DO

绍一种以单片机和电磁涡流传感器为基础而构成的一种应力磁测装置。该装置具有硬件简单,体积小,重量轻、操纵方便,在工程领域具有一定的实用价值。

位置伺服系统采用了前向控制，形成了复合控制系统的基本原理和工程中对前向信号的技术要求, 并阐述了数字预债务的几个设计问题，分析了高炮伺服系统的专用交流进给系统。

自动化专业过程控制技术的课程设计，有关于静态前馈控制系统的设计。有MATLAB仿真。

[第8讲]前馈控制系统ppt,8.1 前馈控制系统基础知识；8.2 前馈控制系统设计；8.3 综合仿真实例

摘 要:本控制仪以单片机80c196kc为核心,集无功补偿、电度量计量、电能质量监测及通信于一体,能实时显示电网的各项参数,通过键盘可人工设定系统运行的参数。单片机外围芯片PSD8XX及复杂可编程逻辑

对增强腔在大失谐光场原子光刻中的实现进行了详细的讨论,通过增强腔对激光光束的压缩和功率的增强可达到近共振原子光刻的要求.数值结果显示相对于近共振原子刻印结果,在增强腔下光束中心处沉积的原子条纹宽度将更