本书介绍了先进技术节点下的MOSFET器件仿真案例,很新,很实用,书中有代码可供参考!TCAD工具是Synopsys公司旗下的Sentaurus,其主要由SentaurusWorkbench(工艺及器件仿真可视化集成环境)、SentaurusStructureEditor(器件结构模拟器)、SentaurusProcess(工艺模拟器)和SentaurusDevice(器件模拟器)组成