电子回旋共振等离子体空间分布诊断及其特性研究,符斯列,陈俊芳,使用朗缪尔单静电探针测量并分析了轴对称发散磁场型ECR-PECVD装置反应室内ECR氮等离子体的空间分布。在反应室等离子体空间分布的两个