在国际标准ISA88(简称S88)中讨论的模型包括物理模型PhysicalModel,配方模型RecipeModel以及工序指令模型ProceduralModule,而对于本规范而言,设备模型将基于物理模型的概念。在S88中对整个生产企业进行物理模型的层次划分,自上而下分成如下几个级别:MES标准介绍之二-ISA95的设备模型与ISA88关系(装载)其中从ProcessCell过程单元以下的部分在S88中进行讨论。下面是对上述几个概念的定义:ProcessCell:一组逻辑组合的设备组,包括完成一个批次所需的设备。Unit:一组相关的控制模型和设备组