SU-8胶紫外光背面光刻工艺模拟研究,吴丹,张恒,本文建立了完整的SU-8胶背面光刻工艺模拟系统,模拟了背面光刻工艺中的曝光、后烘、交联显影过程,其中曝光过程综合考虑了衍射、��