《MEMS双工器:安华高ACMD7612》.pdf
ACMD-7612是一款采用Avago的薄膜体声波谐振器(FBAR)技术制造的MEMS双工器,谐振层材料为AlN压力材料。该器件采用真空晶圆级封装,使得整个芯片高度小于1.2mm;采用硅通孔(TSV)技术蚀刻盖帽实现电气接触,使得芯片尺寸减小。
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