薄膜生长初期的计算机模拟,孔蕴婷,唐吉玉,本文利用MonteCarlo方法对薄膜生长过程进行计算机模拟。模型针对粒子的沉积、吸附及粒子的扩散等过程,研究了生长温度,生长时间对