纳米图形衬底GaAs/Si材料的热应力分布,张然,王俊,直接外延制备的GaAs/Si材料由于不同材料热膨胀系数不同会产生热应力。前人利用光致发光谱和拉曼光谱研究发现,使用图形衬底可减小Ga