论文研究无源零差偏振激光干涉仪的误差研究 .pdf
无源零差偏振激光干涉仪的误差研究,杨军,吴冰,基于偏振光的琼斯矩阵理论,研究了用于纳米测量的偏振干涉仪的误差产生原因和作用机理,目的是为偏振干涉仪光学元件的选择、光路
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