采用直流磁控溅射法制备了ZAO/Cu/ZAO多层透明导电薄膜，研究了参铝氧化锌(ZAO)薄膜厚度对多层膜晶体结构和光电特性的影响.用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外?可见光分光光度计及四探针对样品的晶体结构与光电性能等进行了表征.结果表明，多层膜的平均透过率最高达86%，方块电阻达9Ω/sq；ZAO膜层厚度对多层膜的导电性能影响很小，但严重影响可见光透过率；多层膜中的ZAO层仍呈ZnO晶态结构，且具有明显的c轴取向特征.这种三明治结构是一种性能优良的太阳能透明导电层候选材料.