分栅型闪存中浮栅氮化物硬掩膜层蚀刻工艺的优化,厉心宇,,本文介绍了闪存单元的结构,编程,读取,擦除操作的原理。阐述了浮栅单元通过F-N电子隧穿和沟道热电子注入来进行擦除和编程的工��