新型共振隧穿薄膜微加速度计的研究,张文栋,胡杰,本文研究了一种新型的GaAs基压阻式共振隧穿微加速度计结构,该微加速度计的压敏元件采用AlAs/In0.1Ga0.9As双势垒共振隧穿纳米薄膜结构.加