由VolkerKempe所著的《InertialMEMSPrinciplesandPractice》的中英文版PDF文档。中文版名为《惯性MEMS器件原理与实践》。中文版为扫描版，文字还算清晰；英文版为高清版，文字可拷。欢迎感兴趣的朋友下载。