功率稳定激光光源在光读出式非制冷红外成像系统中的应用,刘明,董立泉,光读出式红外焦平面阵列热成像技术,主要基于微悬臂梁在热辐射作用下发生形变的原理,然后以光学手段检测MEMS微悬臂梁阵列各单元��