基于扫描探针声显微镜对SiO2基底上激光损伤的HfO2薄膜物理性质的检测,程茜,姚文刚,扫描探针声显微镜(SPAM)是一种新型材料性能检测工具,它可以同时地原位地对试样表面和亚表面进行成像,采用不同的探针可探测纳�