埋层锑注入剂量的工艺监测,郑刚,程秀兰,随着近年来液晶面板的兴起以及越来越大的尺寸,高压LCD驱动日渐受到市场的关注,该产品生产中采用了埋层注入和外延工艺[1]。作为N��