微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的制备

托卡马克等离子体密度分布对离子回旋波与等离子体耦合的影响，王菲，龚学余，采用等离子体平板模型和三维天线模型数值模拟离子回旋波与等离子体的耦合过程，得到天线耦合功率分别随中心区等离子体密度、抛物

理论上证明了在光学范围内可调谐的全向表面等离子体共振。 圆柱等离子体晶体通过使用严格的耦合波分析。 圆柱等离子晶体由二维圆柱形金属-电介质-电介质-金属结构的无限链的结构。 分散通过计算吸收率与TMp

理论上用雪犁模型研究了毛细管放电产生的等离子体柱的收缩过程。 从理论结果可以得出等离子体的多收缩演化。 计算了压力和电流幅度对多个夹点的影响,结果表明,夹点时间随压力减小或电流增大而非线性减小。 在实

基于含石墨烯的双/三层介质结构中的光学色散方程,研究了覆层和基底层材料对石墨烯表面等离子体波横电(TE)模的影响。计算结果表明,近红外波段内,石墨烯表面等离子体波TE模的性质对覆层和基底层介电常数的差

正丙醇溶液等离子体电解固相产物分析，邓丽华，严宗诚，对正丙醇进行等离子体电解(plasmaelectrolysis，PE)，采用X射线光电子能谱、激光拉曼光谱和傅里叶红外光谱对正丙醇等离子体电解固相产

半导体行业化学气相沉积

基于电感耦合等离子体的氧等离子体处理对AlGaN / GaN HEMT的影响。

本文报道热丝化学气相沉积法(HFCVD)生长金刚石薄膜的喇曼散射结果.选取多种峰型,对金刚石薄膜喇曼谱(1100~1800 cm-1)采用最小二乘法进行非线性拟合,得到最佳拟合模型,其计算得到的拟合曲

采用微波等离子体化学汽相淀积法,以C60膜为过渡层,在光滑的单晶Si衬底(100)表面和研磨的石英衬底表面等光学衬底上,首次在无衬底负偏压条件下生长出多晶金刚石薄膜,通过扫描电镜观察到生长膜晶粒呈莱花

用红外椭圆偏振仪对热丝化学气相沉积法制备的金刚石薄膜的光学参量进行了测量。由于表面状态和界面特性的差异,分别对镜面抛光硅片和粗糙氧化铝基片上的金刚石薄膜建立了不同的模型,并在此基础上进行了测试结果的计