宽光谱窄带隙微晶硅锗太阳电池研究,刘群,倪牮,采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,制备了高锗含量(原子百分含量)的氢化微晶硅锗(μc-Si1-xGex:H)材料。通过锗含�