离子注入对NiGe/n-Ge接触肖特基势垒高度的影响研究,李成,汤梦饶,在镍锗/n锗接触中用掺杂来调制有效肖特基势垒高度的方法仍然存在争议。本文实验证明离子损伤比界面钝化在注入硒和硅的镍锗/n锗接�