干刻蚀对于不同负载效应造成选择比差异导致的缺陷分析与解决方案,赵弘鑫,程秀兰,在半导体制造工艺的干法刻蚀(DryEtching)中,对于刻蚀薄膜表面面积大小的差异性会造成负载效应(Loadingeffect)。然而这种负载效应��