TiO2薄膜表面的水、油浸润改性研究,孙宏达,王波,本文通过磁控溅射在Si衬底上沉积了TiO2薄膜,并利用感应耦合等离子体(ICP)表面化学处理方法,在TiO2薄膜表层覆盖羟基,增强了TiO2薄�