基于宏孔硅的二维晶体制备与模拟,梁超,王国政,采用硅光电化学腐蚀、整形技术与半导体微细加工工艺相结合的方式,在n型(100)晶向硅衬底上制作出正方晶格方形空气柱的二维光子�