微悬臂梁阵列传感系统的性能分析,周夏荣,吴尚犬,对微悬臂梁阵列传感系统的一致性进行了研究。以改变温度作为激励手段,在微梁阵列检测装置上分别检测了2种微梁阵列在升温与降温�