绒面ZnO透明导电薄膜,朱锋,薛玉明,采用孪生ZnO(Al2O3:2%)对靶直流磁控溅射制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜(迁移率为5.56cm2/V•s,载流子浓度为4.57×1020cm-3,电阻�