MEMS是英文MicroElectroMechanicalSystems的缩写，即微电子机械系统，是利用微米/纳米技术基础，对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的21世纪前沿技术。它将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元，不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息采取行动。 与传统机械系统相比，MEMS系统具备以下优势： ①微型化和集成化：几何尺寸小，易于集成。采用微加工技术可制造出微米尺的传感和敏感元件，并形成二维或三维的传感器阵列，再加上一体化集成的大规模集成电路，最终器件尺寸一般为毫米级。 ②低能耗和