最全的MEMS行业研究报告.pdf

u735696828 29 0 PDF 2020-04-22 09:04:38

MEMS是英文MicroElectroMechanicalSystems的缩写,即微电子机械系统,是利用微米/纳米技术基础,对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的21世纪前沿技术。它将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元,不仅能够采集、处理与发送信息或指令,还能够按照所获取的信息采取行动。 与传统机械系统相比,MEMS系统具备以下优势: ①微型化和集成化:几何尺寸小,易于集成。采用微加工技术可制造出微米尺的传感和敏感元件,并形成二维或三维的传感器阵列,再加上一体化集成的大规模集成电路,最终器件尺寸一般为毫米级。 ②低能耗和

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