Si/(Ni-Cr合金)/Cu扩散偶950℃时的界面反应,王炜,李长荣,在半导体硅片(Si)-扩散阻挡层(Ni-Cr合金)-金属互连材料(Cu)构成的体系中,Si和Ni-Cr合金之间以及Ni-Cr合金和Cu之间各构成一对扩散偶。本�